钪酸盐衬底（Scandate Wafer）
发布于2021-05-28 10:19 文章来源：未知
钪酸盐衬底 Scandate Substrate
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♦大晶格常数的钙钛矿结构衬底，是研究新一代燃料电池、传感器的基础。
♦与钙钛矿结构的超导体有很好的晶格匹配，极佳的铁电薄膜衬底材料。 ♦晶向选择：可提供其他晶向，如(110)，（010），（011）。 ♦所有基片都经过精密抛光并充保护气氛保护，满足Epi-Ready使用要求。 ♦生产厂家：德国Crystec。 |
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材料种类：
DyScO3：a: 0.554 nm，b: 0.571 nm，c: 0.789 nm
GdScO3：a: 0.545 nm，b: 0.575 nm，c: 0.793 nm NdScO3：a: 0.543 nm，b: 0.550 nm，c: 0.771 nm SmScO3：Not Specified TbScO3：Not Specified PrScO3*：a: 0.5612nm，b: 0.5780nm，c: 0.8026nm，由于工艺问题，暂时不能提供
晶向选择：
常规晶向：（110），orthorombic，+/- 0.5°
特殊晶向：orthorombic—(001), (010), (100), (011)，+/- 0.5° 直径范围：
常规尺寸(mm)：10*10，10*5，5*5， +/- 0.1
厚度范围：
厚度范围(mm)：0.5, 1.0
厚度误差(mm)：+/- 0.05
表面抛光：
单面抛光/双面抛光，epi-ready
抛光精度：Ra < 10nm |
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