钪酸盐衬底(Scandate Wafer)

发布于2017-11-21 20:11    文章来源:未知

钪酸盐衬底 Scandate Substrate 

♦大晶格常数的钙钛矿结构衬底,是研究新一代燃料电池、传感器的基础。

♦与钙钛矿结构的超导体有很好的晶格匹配,极佳的铁电薄膜衬底材料。

♦晶向选择:可提供其他晶向,如(110),(010),(011)。

♦所有基片都经过精密抛光并充保护气氛保护,满足Epi-Ready使用要求。

♦生产厂家:德国Crystec。

材料种类:
DyScO3:a: 0.554 nm,b: 0.571 nm,c: 0.789 nm
GdScO3:a: 0.545 nm,b: 0.575 nm,c: 0.793 nm
NdScO3:a: 0.543 nm,b: 0.550 nm,c: 0.771 nm
SmScO3:Not Specified
TbScO3:Not Specified
PrScO3*:a: 0.5612nm,b: 0.5780nm,c: 0.8026nm,由于工艺问题,暂时不能提供
 
晶向选择:
常规晶向:(110),orthorombic,+/- 0.5°
特殊晶向:orthorombic—(001), (010), (100), (011),+/- 0.5°

直径范围:
常规尺寸(mm):10*10,10*5,5*5, +/- 0.1
 
厚度范围:
厚度范围(mm):0.5, 1.0
厚度误差(mm):+/- 0.05

 
表面抛光:
单面抛光/双面抛光,epi-ready
抛光精度:Ra < 10nm