钛酸锶衬底(SrTiO3 Wafer)

发布于2017-11-21 20:11    文章来源:未知

钛酸锶衬底 SrTiO3 Substrate 

♦与多种钙钛矿结构材料晶格匹配好,是高温超导薄膜和多种氧化物薄膜优质的衬底材料。

♦晶向选择:可提供其他晶向,如(110)。

♦先进的光学测量技术,保证我们生产的每一片基片的表面干净无污染。

♦所有基片都经过精密抛光并充保护气氛保护,满足Epi-Ready使用要求。


生产厂家:德国Mateck,德国Crystec。

晶向选择:
晶向:(100),(110),(111)
晶向精度:(100) +/- 0.1°,(001) +/- 0.5°
晶格常数:a: 0.391 nm

直径范围:
可选尺寸(mm):10*10,10*5,5*5
尺寸精度(mm):+/- 0.1

厚度范围:
厚度范围(mm):0.5,1.0
厚度误差(mm):+/- 0.05

 
表面抛光:
单面抛光/双面抛光,epi-ready
抛光精度:Ra < 0.5nm (typ. < 0.25nm), p-v <3.5nm (typ. <3.0nm)
 
特殊成分晶片:
Nb:SrTiO3: 0,01 wt%, 0,05 wt%, 0,1 wt% and 0,5 wt%
双晶基片: Bi-Crystal, Grain Boundary Angle: 12.0/12.0, +/- 0.5°