蓝宝石衬底(Sapphire Wafer)

发布于2017-11-21 20:11    文章来源:未知

蓝宝石衬底 Sapphire Substrate 

♦所有基片都经过精密抛光并充保护气氛保护,满足Epi-Ready使用要求。

♦晶向选择:可提供其他晶向,如(110)。

♦先进的光学测量技术,保证我们生产的每一片基片的表面干净无污染。


♦纯度:99.999%,单晶材质。

生产厂家:德国Mateck,德国Crystec。

 
晶向选择:
晶向:(0001),(1120),(1-102),(10-10)
晶向精度:+/- 0.1°
晶格常数:
a: 0.476 nm,c: 1.300 nm

直径范围:
常规直径(mm):50.8,76.2,100.0
可选尺寸(mm):10*10,max. 150*150
尺寸精度(mm):+/- 0.5

厚度范围:
厚度范围(mm):0.5,min. 0.33
厚度误差(mm):+/- 0.025

 
表面抛光:
单面抛光/双面抛光,epi-ready
抛光精度:Ra < 0.5nm